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长平晶的结构和用途 |
长平晶的结构和用途
长平晶是以等倾干涉法检定研磨面平尺平面度的规范量具。长平晶按尺寸分为210mm和310mm两种。制造长平晶的资料为K9光学玻璃。
长平晶的非工作面上有表示受检点位置的十字刻线，对于210mm长平晶有7个十字刻线，刻线间隔为30mm两端十字刻线距端面为15mm对于310mm长平晶两端十字刻线距端面为20mm,刻线间隔为30mm共有9个间隔，另外在对称中点位置上增加一个十字刻线，共有11个十字刻线。
使有长平晶时，考虑到其自重变形对测量的影响，且便于修正，应使长平晶支承在固定的位置上，并使工作面向下。一般常在工作面两端研合两块尺寸差小于0.1μm0级量块；或用钢球支承架，其支承钢球的尺寸差小于0.1μm以内。长平晶连同其支承一起放在被测表面上，用等倾干涉法进行平面度测量。
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